空氣軸承可以在不同類型的導向材料上運行。空氣軸承常見的導向表面:花崗巖、硬涂層鋁、陶瓷、玻璃、不銹鋼和鍍鉻鋼。
空氣軸承導軌導向表面需要注意事項有以下幾點:
· 表面光潔度:空氣軸承建議表面光潔度為 16RMS(微英寸)或更高。(表面粗糙度的要求是要小于氣膜厚度的1/4 )
· 對于多孔介質空氣軸承,必須將表面光潔度視為間隙的一部分,當設計較小間隙時,表面光潔度變得更加重要。
· 局部平面度:定義為軸承下任意時刻的平面度,應小于設計氣隙的50%。這是最壞的情況,實際上保持在氣隙的10% 以下相對容易。
· 導向表面的孔直接會影響軸承的承載力
知道了上述空氣軸承的導向面,那么問題來了,
什么樣的應用場景才適合空氣軸承呢?
1 速度穩定性和掃描
速度(穩定性優于 0.01%)。慣性傳感器測試、斷層掃描、晶圓掃描和表面輪廓分析等應用
2 極低誤差運動
極高的直線和平面度,俯仰、滾動和偏航誤差可控制在0.1弧秒內
旋轉平臺的傾斜(擺動)誤差< 1 弧秒
3 需要無擺動或高速旋轉運動
旋轉空氣軸承:徑向、軸向和擺動誤差運動比機械軸承小得多,旋轉運動非常平滑
4 無摩擦高精度定位
5 清潔度,無磨損的,幾乎不產生顆粒。對于極其清潔的應用,建議空氣軸承使用 99.9% 的純氮氣運行,精確的力控制和傳感器
空氣軸承幾乎無摩擦,與直驅動電機或音圈耦合時,是微牛頓和納牛頓力控制應用的理想選擇
既然有空氣軸承的應用環境
相對于的不適用于空氣軸承的環境又有哪些呢?
1.真空環境
雖然在真空中操作空氣軸承并非不可能,但它具有挑戰性。通常應避免真空應用,而應使用機械軸承、磁懸浮或撓性系統
2.非常臟的環境
空氣軸承通常用于清潔環境。通常應避免存在大量灰塵、污垢、碎屑和流體的應用。
3.壓縮空氣或氮氣不可用
空氣軸承需要持續供應清潔的壓縮空氣或氮氣。